碳纤维硬质复合毡（温合成型整体毡）
产品描述：
碳纤维硬质复合毡（混合成型整体毡）是通过短切碳纤维与树脂混合压制而成的碳纤维增强碳基复合材料。由于其具有独特的结构，使得其在第三代半导体领域中受到广泛的关注，主要用于半导体长晶炉、外延炉等高端热场环境。
产品特点：
- 相对机械强度高
- 密度均一性好
- 高纯度、低灰分
- 良好的可加工性能
- 优秀的保温隔热性能
- 高温抗氧化及抗侵蚀性能
| 性能指标 | 产品 | |
|---|---|---|
| 石墨产品 | 高纯产品 | |
| 处理温度（°C） | >2000 | >2400 |
| 含碳量（%） | >99.8 | ≥99.9 |
| 导热系数 W/(m·K) | 0.15-0.25 | 0.16-0.30 |
| 密度（g/cm³） | 0.14-0.22 | 0.14-0.22 |
| 密度偏差 | <0.01 | <0.01 |
| 抗弯强度（MPa） | 0.6-1.2 | 0.6-1.2 |
| 抗压强度（MPa） | 0.5-1.5 | 0.5-1.5 |
| 灰分（ppm） | <150 | ≤20 |
根据不同的热场环境及客户需求，可对其进行表面处理如石墨涂层、CVDC涂层、SiC涂层等