高纯胶基碳纤维毡
产品描述
杂质含量是第三代半导体长晶炉热场环境重点关注因素之一。为有效保障SIC晶体正常生长发育，生产高纯胶基碳纤维保温毡在兼顾保温隔热性能同时，内部灰分含量可稳定控制在20PPM以下，年产量可达100T/A。
产品特点
- 原材料：优质胶短纤
- 处理温度：＞2200℃
- 推荐使用温度：
- 1800-3000℃（真空/惰性气氛）
- ＜400℃（有氧环境）
| 性能指标 | 单位 | TYT-CHP CF-HB | TYT-CHP CF-HC | 测试方法标准 |
|---|---|---|---|---|
| 非碳元素 | ppm | <20 | <15 | GDMS |
| 灰分 | ppm | <20 | <10 | 灼烧法 GB/T26930.6-2014 |
| 发尘量 | — | 较少 | 极少 | SEM |
| 密度 | g/cm³ | 0.085<x<0.11 | 0.085<x<0.11 | — |
| 热导率 | W/m·K | <0.07 | <0.1 | 激光闪光法(常温) |